手艺上风   Technical advantages

     

硅(gui)(gui)烷有(you)多(duo)(duo)种制法(fa),今朝支流的出(chu)产工(gong)艺(yi)有(you):硅(gui)(gui)镁(mei)合金法(fa)工(gong)艺(yi)(Komatsu 硅(gui)(gui)化镁(mei)法(fa));氯硅(gui)(gui)烷歧化工(gong)艺(yi)(Union Carbide 歧化法(fa));金属氢化物工(gong)艺(yi)(MEMC公司发现(xian)的新硅(gui)(gui)烷法(fa))三种。上海交(jiao)通大(da)学肖文德传授以(yi)多(duo)(duo)功效反映完美(mei)了UCC工(gong)艺(yi),在硅(gui)(gui)烷科(ke)技公司利用取得 胜利,其(qi)反映式为:


  Si+HCl----------- SiHCl3


  SiHCl3-----------SiCl4+ SiH2Cl2


  SiH2Cl2----------SiHCl3+ SiH3Cl


  SiH3Cl-----------SiH4+ SiH2Cl2


  该(gai)完(wan)美了(le)UCC工(gong)艺中存在的(de)三氯氢硅转(zhuan)化(hua)效(xiao)力(li)低的(de)缺乏,将其(qi)转(zhuan)化(hua)率到以平,使我国出产高(gao)纯(chun)硅烷走(zou)到了(le)天下。